潔淨車間竣工後，需要對潔淨車間進行多種檢測和測試項目，目的是檢查和了解清潔車間的各項指標是否合格。

1.壓力衰減：使潔淨車間達到一定壓力(正壓或負壓)，然後關閉供壓或負壓係統，仔細觀察壓力隨時間慢慢減少，然後記錄壓力減少到開始壓力的二分之一時間，即測量潔淨車間(室)正壓或負壓的半衰期。

2.恒壓法：在潔淨車間內達到某個正壓的同時，在潔淨車間內補充氣體，使室壓達到要求的穩定值而不減低時的補充氣體量是泄漏量。在潔淨車間內達到某個負壓，使室壓維持要求的穩定值，不減低時的抽氣量是泄漏量。

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